-
Keramické náhradné diely pre polovodičové sondy
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
Nosič polovodičových zariadení s keramickou doskou
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
Keramické náhradné diely pre polovodičové zariadenia
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
Tesniaci krúžok z vysoko čistého oxidu hlinitého z keramiky pre utesnenie komory pri vysokých teplotách
Keramický tesniaci krúžok St.Cera je navrhnutý ako alternatíva k polymérnym O-krúžkom v extrémnych prostrediach, kde dochádza k degradácii elastomérov. Tento pevný tesniaci krúžok, vyrobený z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃), sa používa v statických tesniacich aplikáciách – zvyčajne v kombinácii s mäkkým kovovým alebo grafitovým tesnením – na zabezpečenie spoľahlivého vákua alebo izolácie plynu pri teplotách do 800 °C a v agresívnom plazmovom alebo chemickom prostredí. Materiál ponúka nulové uvoľňovanie plynov, vysokú pevnosť v tlaku (základná pevnosť v ohybe 361 MPa) a chemickú inertnosť (odolný voči halogénom, kyselinám a zásadám okrem HF). Presne lapované tesniace plochy (rovnosť ≤ 5 μm, drsnosť povrchu Ra ≤ 0,2 μm) zaisťujú tesný kontakt s kovovými alebo keramickými komponentmi.
-
Zaostrovací krúžok z vysoko čistého oxidu hlinitého pre systémy plazmového leptania a CVD
Zaostrovací krúžok do komory od spoločnosti St.Cera je kritickou súčasťou procesnej súpravy používanej v zariadeniach na plazmové leptanie, CVD a PVD polovodičové spracovanie. Krúžok je vyrobený z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃) a obklopuje okraj doštičky, aby obmedzil plazmu a optimalizoval uhlové rozloženie iónov, čím sa zlepšuje rovnomernosť leptania po celom povrchu doštičky. Materiál ponúka výnimočnú odolnosť voči plazme, vysokú dielektrickú pevnosť (15×10⁶ V/m) a tepelnú stabilitu až do 1600 °C, čo zaisťuje dlhodobú spoľahlivosť v agresívnom plazmovom prostredí na báze fluóru alebo chlóru. Presne brúsený vnútorný/vonkajší priemer a rovinnosť (≤10 μm) umožňujú presné polohovanie okrajov doštičky, čím sa znižujú defekty okrajov a tvorba častíc.
-
Vysoko čistý keramický krúžok z oxidu hlinitého pre procesné komory CVD/PVD
Keramický krúžok od spoločnosti St.Cera je špeciálne navrhnutý na použitie v procesných komorách CVD (chemické nanášanie z pár) a PVD (fyzikálne nanášanie z pár). Tento krúžok, vyrobený z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃), slúži ako vložka komory, zaostrovací krúžok alebo súčasť procesnej súpravy na obmedzenie plazmy a ochranu stien komory pred eróziou. Materiál ponúka vynikajúcu odolnosť voči plazme, vysokú dielektrickú pevnosť (15×10⁶ V/m) a tepelnú stabilitu až do 1600 °C, čo zaisťuje dlhú životnosť v agresívnom prostredí plazmy na báze fluóru. Presné rozmerové tolerancie (±0,05 mm na vnútornom/vonkajšom priemere) a rovinnosť (≤10 μm) umožňujú konzistentné polohovanie okrajov doštičky, čím sa zlepšuje rovnomernosť nanášania a znižuje sa tvorba častíc.
-
Keramický koncový efektor Bernoulli – bezkontaktná manipulácia s tenkými a krehkými doštičkami
Keramický koncový efektor Bernoulli od spoločnosti St.Cera využíva aerodynamický vztlak na manipuláciu s doštičkami bez fyzického kontaktu. Je vyrobený z vysoko čistého 99,8 % oxidu hlinitého (Al₂O₃) alebo karbidu kremíka (SiC) a je vybavený precízne opracovanými tryskami, ktoré vstrekujú stlačený plyn a vytvárajú tenký vzduchový film medzi koncovým efektorom a doštičkou. Tento bezkontaktný princíp eliminuje kontamináciu zadnej strany, odštiepenie hrán a poškodenie povrchu, vďaka čomu je ideálny pre tenké (≤100 μm), krehké alebo zdeformované doštičky. Keramický substrát poskytuje vysokú pevnosť v ohybe (361 MPa pre Al₂O₃; až 550 – 600 MPa pre SiC), nízku hmotnosť a vynikajúcu rozmerovú stabilitu, čo zabezpečuje opakovateľné polohovanie vo vysokorýchlostných robotoch na prenos doštičiek.
-
Vysoko čisté keramické súčiastky z oxidu hlinitého pre polovodičové a priemyselné aplikácie
Spoločnosť St.Cera vyrába precízne opracované keramické diely z oxidu hlinitého (Al₂O₃) podľa špecifikácií zákazníka. Tieto komponenty, vyrobené z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého, poskytujú vynikajúcu pevnosť v ohybe (361 MPa), vysokú tvrdosť (16 GPa) a vynikajúcu dielektrickú pevnosť (15×10⁶ V/m). Materiál, určený pre polovodičové zariadenia, zostavy odolné voči opotrebovaniu, elektrické izolátory a vysokoteplotné upínacie prípravky, ponúka takmer nulovú nasiakavosť (0 %) a koeficient tepelnej rozťažnosti 7,2×10⁻⁶/℃, čo zaisťuje rozmerovú stabilitu aj v extrémnych podmienkach.
-
Pórovitý keramický vákuový upínač na manipuláciu s deformovanými doštičkami
Pórovité keramické upínače St.Cera sú vyrobené z vysoko čistého oxidu hlinitého s rovnomernou otvorenou pórovitosťou 30 – 45 % a veľkosťou pórov od 10 do 100 μm. Na rozdiel od konvenčných drážkovaných upínačov poskytuje pórovitý povrch rozložené vákuum po celej zadnej strane doštičky, čím účinne drží deformované, tenké alebo jednotlivé doštičky bez odlepovania alebo zlomenia hrán. Jemné vákuum (nastaviteľné pomocou obmedzovača) tiež zabraňuje zafarbeniu zadnej strany.
-
Vákuové upínacie skľučovadlo z pórovitého keramiky na báze oxidu hlinitého pre manipuláciu s tenkými doštičkami
Pórovité upínacie skľučovadlo St.Cera na báze oxidu hlinitého je vyrobené z 99,6 % vysoko čistého Al₂O₃ s kontrolovanou otvorenou pórovitosťou 30 – 45 % a rovnomernou veľkosťou pórov v rozmedzí od 10 do 50 μm. Na rozdiel od drážkovaných upínacích skľučovadiel poskytuje pórovitý povrch rozložené vákuum po celej zadnej strane doštičky, čím sa eliminuje vytváranie značiek na okrajoch a umožňuje jemné uchytenie ultratenkých (≤ 100 μm) alebo deformovaných doštičiek. Materiál ponúka pevnosť v ohybe ≥ 250 MPa a tepelnú stabilitu až do 400 °C na vzduchu.
-
Doska na distribúciu plynu z oxidu hlinitého pre sprchovú hlavicu CVD/PVD
Doska na distribúciu plynu (sprchová hlavica) od spoločnosti St.Cera je presne opracovaná z vysoko čistej keramiky s obsahom oxidu hlinitého 99,8 %. Je vybavená radom mikrootvorov (s priemerom 0,3 – 1,5 mm), ktoré zabezpečujú rovnomerný tok plynu cez povrch doštičky počas procesov CVD, PVD alebo ALD. Vysoká dielektrická pevnosť dosky (> 15 × 10⁶ V/m) a plazmový odpor ju robia nevyhnutnou pre nanášanie tenkých vrstiev polovodičov.
-
Keramický nosný kolík pre polovodičové procesné prípravky
Keramické podporné kolíky St.Cera (známe aj ako zdvíhacie kolíky alebo oporné kolíky) sa používajú v komorách pre polovodičové spracovanie na zdvíhanie doštičiek alebo substrátov počas manipulácie, ohrevu alebo chladenia. Tieto kolíky sú vyrobené z 99,8 % oxidu hlinitého alebo nitridu kremíka a ponúkajú vysokú pevnosť v tlaku, tepelnú stabilitu a chemickú odolnosť. Polguľovitý alebo plochý dizajn hrotu zabraňuje poškriabaniu doštičiek.
