Vákuové upínacie skľučovadlo z pórovitého keramiky na báze oxidu hlinitého pre manipuláciu s tenkými doštičkami
Pórovité upínacie skľučovadlo St.Cera na báze oxidu hlinitého je vyrobené z 99,6 % vysoko čistého Al₂O₃ s kontrolovanou otvorenou pórovitosťou 30 – 45 % a rovnomernou veľkosťou pórov v rozmedzí od 10 do 50 μm. Na rozdiel od drážkovaných upínacích skľučovadiel poskytuje pórovitý povrch rozložené vákuum po celej zadnej strane doštičky, čím sa eliminuje vytváranie značiek na okrajoch a umožňuje jemné uchytenie ultratenkých (≤ 100 μm) alebo deformovaných doštičiek. Materiál ponúka pevnosť v ohybe ≥ 250 MPa a tepelnú stabilitu až do 400 °C na vzduchu.
Špecifikácie(na základe 99,6 % Al₂O₃):
| Nehnuteľnosť | Hodnota |
| Materiál | 99,6 % oxidu hlinitého (bieleho) |
| Pórovitosť | 30–45 % (nastaviteľné) |
| Priemerná veľkosť pórov | 10–50 μm |
| Pevnosť v ohybe | ≥250 MPa |
| Hustota | 3,88 g/cm³ |
| Rovinnosť (nad 200 mm) | ≤5 μm |
| Maximálna prevádzková teplota | 400 °C (vzduch) |
| Povrchová úprava | Lapované (Ra ≤0,8 μm) |
Aplikácie:
- · Brúsenie zadnej strany tenkých doštičiek (≤50 μm)
- · Upevnenie deformovaného waferu pre krájanie
- · Jednoduchý zdvihák matrice
- · Manipulácia so skleneným substrátom
Výroba:
Prášok zmiešaný s pórotvornými látkami → izostatické lisovanie → spekanie pri 1600 °C → lapovanie na konečnú hrúbku. Každé skľučovadlo sa testuje prietokom na rovnomernosť vákua (odchýlka tlaku < 5 %) a kontroluje sa rozloženie veľkosti pórov (SEM).
Výhody oproti bežným upínacím skľučovadlom:
- · Žiadne značenie zadnej strany doštičky ani posun čipu
- · Udrží doštičky s oblúkom do 500 μm
- · Samočistiaci povrch (póry odolávajú upchávaniu)
- · Jednotná podpora eliminuje lokálne napätie
Cprispôsobenie:
Okrúhle alebo štvorcové tvary, priemer 100 – 450 mm. K dispozícii je tesniaci krúžok na okraje pre zónové ovládanie vákua.
Vyžiadajte si vzorku pre vašu konkrétnu veľkosť oblátky.
