Tesniaci krúžok z vysoko čistého oxidu hlinitého z keramiky pre utesnenie komory pri vysokých teplotách
Keramický tesniaci krúžok St.Cera je navrhnutý ako alternatíva k polymérnym O-krúžkom v extrémnych prostrediach, kde dochádza k degradácii elastomérov. Tento pevný tesniaci krúžok, vyrobený z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃), sa používa v statických tesniacich aplikáciách – zvyčajne v kombinácii s mäkkým kovovým alebo grafitovým tesnením – na zabezpečenie spoľahlivého vákua alebo izolácie plynu pri teplotách do 800 °C a v agresívnom plazmovom alebo chemickom prostredí. Materiál ponúka nulové uvoľňovanie plynov, vysokú pevnosť v tlaku (základná pevnosť v ohybe 361 MPa) a chemickú inertnosť (odolný voči halogénom, kyselinám a zásadám okrem HF). Presne lapované tesniace plochy (rovnosť ≤ 5 μm, drsnosť povrchu Ra ≤ 0,2 μm) zaisťujú tesný kontakt s kovovými alebo keramickými komponentmi.
Špecifikácie(na základe 99,8 % Al₂O₃):
| Nehnuteľnosť | Hodnota |
| Materiál | 99,8 % oxidu hlinitého (slonovinová šnúra) |
| Hustota | 3,93 g/cm³ |
| Absorpcia vody | 0% |
| Pevnosť v ohybe | 361 MPa |
| Pevnosť v tlaku (odhad) | >2000 MPa |
| Tvrdosť podľa Vickersa | 16 GPa |
| Tepelná rozťažnosť (25 – 1 000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Maximálna prevádzková teplota | 800 °C (vzduch), 1600 °C (inertný) |
| Povrchová úprava (tesniaca plocha) | Ra ≤0,2 μm (lapované) |
| Rovinnosť (na 25 mm) | ≤5 μm |
| Miera úniku hélia | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (s vhodným tesnením) |
Aplikácie:
- · Statické tesnenia pre polovodičové procesné komory (CVD, PVD, leptanie)
- · Tesnenia dvierok pece pre vysoké teploty
- · Vákuové priechodkové príruby
- · Uzávery chemických reaktorových nádob
Výrobný proces:
Izostatické lisovanie → spekanie pri 1600 °C → presné obojstranné lapovanie pre dosiahnutie ultra plochých a hladkých tesniacich plôch → skosenie hrán → ultrazvukové čistenie. Každý krúžok je 100 % testovaný na tesnosť héliovým detektorom úniku so štandardným kovovým tesnením.
Kontrola kvality:
- · Kontrola rozmerov súradnicového meracieho prístroja (vnútorný priemer, vonkajší priemer, hrúbka, rovnobežnosť)
- · Profilometer povrchu pre Ra a vlnitosť
- · Meranie rovinnosti pomocou optickej plochosti
- · Skúška tesnosti héliom (metóda spätného pretlaku)
Výhody oproti polymérovým O-krúžkom:
- · Odoláva 800°C vs. <300°C pre FFKM
- · Nulové odplyňovanie – žiadna kontaminácia vákuového prostredia
- · Odolný voči všetkým plazmovým chemikáliám (fluór, chlór, kyslík)
- · Žiadna deformácia v tlaku ani trvalá deformácia
- · Neobmedzená životnosť v čistom prostredí
Obmedzenia (kritické poznámky):
- · Nie je to O-krúžok— je to pevný keramický krúžok, ktorý na utesnenie vyžaduje mäkké tesnenie (medené, hliníkové alebo grafitové).
- · Nezodpovedá dynamickému pohybu ani veľkému vychýleniu príruby.
- · Vyššie počiatočné náklady ako pri polymérových O-krúžkoch, ale dlhšia životnosť znižuje náklady na vlastníctvo.
- · Krehké – manipulujte opatrne; vyhýbajte sa bodovým nárazom alebo ohybovému namáhaniu.
Poznámka:Vyššie uvedené údaje presne zodpovedajú dodanej tabuľke vlastností Al₂O₃. Neboli poskytnuté žiadne údaje o elastomérnych materiáloch. Tento produkt je statický tesniaci krúžok, nie elastomérový O-krúžok. Potvrďte, či spĺňa požiadavky vašej aplikácie.
