Keramický nosný kolík pre polovodičové procesné prípravky
Keramické podporné kolíky St.Cera (známe aj ako zdvíhacie kolíky alebo oporné kolíky) sa používajú v komorách pre polovodičové spracovanie na zdvíhanie doštičiek alebo substrátov počas manipulácie, ohrevu alebo chladenia. Tieto kolíky sú vyrobené z 99,8 % oxidu hlinitého alebo nitridu kremíka a ponúkajú vysokú pevnosť v tlaku, tepelnú stabilitu a chemickú odolnosť. Polguľovitý alebo plochý dizajn hrotu zabraňuje poškriabaniu doštičiek.
Špecifikácie(Oxid hlinitý 99,8 %):
| Nehnuteľnosť | Hodnota |
| Materiál | 99,8 % Al₂O₃ alebo Si₃N₄ |
| Dĺžka | 10 – 100 mm |
| Priemer | 1 – 10 mm |
| Tvar hrotu | Ploché, pologuľovité, špicaté |
| Pevnosť v tlaku (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Maximálna prevádzková teplota (Al₂O₃) | 1600 °C |
| Povrchová úprava | Lapované (Ra ≤0,4 μm) |
| Tolerancia priemeru | ±0,01 mm |
Aplikácie:
Zdvíhacie čapy v komorách CVD/PVD
Podporné kolíky na pečenie na horúcej platni
Podporné štruktúry kariet sond
Podpery lodí z kremennej pece
Výroba:
Presné bezhrotové brúsenie vonkajšieho priemeru → diamantové brúsenie profilu hrotu → ultrazvukové čistenie → 100% rozmerová kontrola.
Kontrola kvality:
Súradnicový merací prístroj na overenie dĺžky/priemeru, optický komparátor na overenie polomeru hrotu, záťažová skúška na overenie pevnosti v tlaku (náhodná vzorka na dávku). Žiadna feromagnetická kontaminácia (overené magnetom).
Výhody oproti kovovým alebo kremenným kolíkom:
5x dlhšia životnosť ako nehrdzavejúca oceľ
Žiadna kontaminácia kovom v procesnej komore
Vyššia teplotná odolnosť ako kremeň (1600 °C oproti 1100 °C)
Nepriľnavý povrch (znížená priľnavosť častíc)
Prispôsobenie:
Viaceré profily hrotov, závitová základňa alebo kužeľovitý driek.
Dodávame aj SiC piny pre extrémne plazmové prostredia.
