-
Vysoko presné keramické krúžky z oxidu hlinitého
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
Keramické skľučovadlá pre polovodičové zariadenia ST.CERA na mieru
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
Keramický koncový efektor z karbidu kremíka (SiC) – vysoká tuhosť pre manipuláciu s doštičkami pri vysokých teplotách
Keramický koncový efektor SiC od spoločnosti St.Cera je vyrobený z vysoko čistého karbidu kremíka (obsah SiC 99,72 %, voľný Si 0,05 %) s použitím materiálu S1111. Ponúka výnimočné mechanické vlastnosti: pevnosť v ohybe 449 MPa (nameraná), modul pružnosti 457 GPa (nameraný) a tvrdosť podľa Vickersa 25 – 28 GPa (typická). Nízka hustota (3,10 – 3,15 g/cm³, typická) poskytuje vysokú špecifickú tuhosť, ideálnu pre vysokorýchlostné roboty na prenos doštičiek. S tepelnou vodivosťou 120 – 150 W/m·K (typická) a koeficientom tepelnej rozťažnosti 4,0 – 4,5 × 10⁻⁶/℃ (typická) tento koncový efektor účinne odvádza teplo a udržiava rozmerovú stabilitu počas manipulácie pri vysokých teplotách (až do 1600 – 1700 °C, bez zaťaženia). Čiernosivá farba a nulová nasiakavosť zabezpečujú kompatibilitu s čistými priestormi.
-
Vákuové upínače na báze karbidu kremíka (SiC) pre vysokoteplotné a plazmové prostredia
Keramické upínače St.Cera na báze SiC sú vyrobené z vysoko čistého karbidu kremíka (šarža S1111, SiC 99,72 %, voľný Si 0,05 %). Dosahujú nameranú pevnosť v ohybe 449 MPa, lomovú húževnatosť 3,12 MPa·m¹/² a modul pružnosti 457 GPa. Typická tepelná vodivosť materiálu (120 – 150 W/m·K) a nízka tepelná rozťažnosť (4,0 – 4,5 × 10⁻⁶/℃) umožňujú rýchle zvýšenie teploty a minimálne deformovanie doštičiek počas tepelného cyklovania. Upínač je možné konfigurovať ako porézne vákuové upínače (rovnomerný tok plynu) alebo drážkované štandardné upínače. S maximálnou prevádzkovou teplotou 1600 – 1700 °C (bez zaťaženia) a výnimočnou odolnosťou voči plazmovej erózii je tento upínač ideálny na spracovanie doštičiek pri vysokých teplotách (žíhanie, RTP) a agresívne leptacie komory, kde dochádza k degradácii upínačov z oxidu hlinitého.
-
Keramické náhradné diely pre polovodičové zariadenia, keramické nosiče
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
Keramický brúsny krúžok z oxidu hlinitého s kovovou podložkou pre lapovacie aplikácie s vysokou pevnosťou
Brúsny krúžok z kovu na báze oxidu hlinitého od spoločnosti St.Cera kombinuje keramickú vrstvu proti opotrebovaniu z vysoko čistého oxidu hlinitého (99,8 % Al₂O₃) s precízne opracovaným kovovým podkladom (zvyčajne hliník alebo nehrdzavejúca oceľ). Tento hybridný dizajn poskytuje výnimočnú odolnosť proti opotrebovaniu a chemickú inertnosť keramiky na brúsnom povrchu, zatiaľ čo kovová základňa dodáva mechanickú pevnosť, jednoduchú montáž a odolnosť voči krehkému lomu. Vrstva oxidu hlinitého ponúka pevnosť v ohybe 361 MPa, tvrdosť podľa Vickersa 16 GPa a tepelnú stabilitu až do 800 °C. Kovová základňa je prispôsobená montážnym otvorom, polohovacím kolíkom alebo magnetickým vlastnostiam pre integráciu do lapovacích strojov, planétových brúsok a zariadení CMP.
-
Keramické náhradné diely pre zariadenia polovodičových sond
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
Prispôsobené spracovanie keramického skľučovadla Al2O3
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
Keramická doska pre polovodičové zariadenia ST.CERA na mieru
Keramické náhradné diely, vyrobené izostatickým lisovaním za studena a spekané pri vysokej teplote, následne precízne opracované a leštené, spĺňajú všetky prísne požiadavky na polovodičové zariadenia vďaka svojim vlastnostiam odolnosti proti opotrebovaniu, odolnosti proti korózii, nízkej tepelnej rozťažnosti a izolácii. Keramika môže dlhodobo fungovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.
-
12-palcový vákuový upínač z oxidu hlinitého na spracovanie 300 mm doštičiek
12-palcový vákuový upínač St.Cera je presne vyrobený z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃) pre manipuláciu s 300 mm doštičkami. Upínač má jemne drážkovaný povrch (šírka drážky 0,5 – 1,0 mm, rozstup 2 – 3 mm), ktorý zabezpečuje rovnomerné rozloženie vákua po celom priemere 300 mm. Rovinnosť je udržiavaná v rozmedzí 5 μm, čo umožňuje fixáciu doštičky bez deformácie počas rezania, brúsenia zadnej strany a kontroly. Vysoká pevnosť v ohybe (361 MPa) a tvrdosť (16 GPa) materiálu zaručujú dlhodobú rozmerovú stabilitu aj pri opakovaných vákuových cykloch.
-
Koncový efektor z oxidu hlinitého a keramiky s integrovanými vákuovými kanálmi
Vákuový koncový efektor z oxidu hlinitého od spoločnosti St.Cera integruje precízne opracované vákuové kanály a sacie otvory priamo do tela z oxidu hlinitého s vysokou čistotou 99,8 %. Táto konštrukcia eliminuje externé vákuové podložky, čo umožňuje priame odberanie doštičiek s rovnomernou prídržnou silou. Vysoká pevnosť v ohybe (361 MPa) a tvrdosť (16 GPa) materiálu zaisťujú dlhodobú rozmerovú stabilitu pri opakovaných vákuových cykloch. Rovinnosť na ploche podložky sa udržiava v rozmedzí 10 μm, čo zabraňuje namáhaniu a zlomeniu doštičiek. Vákuové porty sú umiestnené na zadnej montážnej prírube pre jednoduchú integráciu s robotickými ramenami OEM.
-
Keramické diely z oxidu hlinitého odolné voči elektrostatickej elektrine pre manipuláciu s doštičkami citlivými na statickú elektrinu
Keramické diely z oxidu hlinitého odolné voči elektrostatickému výboju (ESD) od spoločnosti St.Cera sú vyrobené z vysoko čistého Al₂O₃ s 99,8 % povrchovým odporom 10⁶–10⁹ Ω/m², ktorý sa dosahuje patentovaným procesom dopovania alebo povlakovania. Tieto diely účinne odvádzajú statický náboj a zabraňujú elektrostatickému poškodeniu citlivých polovodičových doštičiek a zariadení. Základný materiál si zachováva vysokú pevnosť v ohybe (361 MPa), tvrdosť (16 GPa) a dielektrickú pevnosť (15×10⁶ V/m). Medzi keramické diely odolné voči ESD patria koncové efektory, zdvíhacie čapy, vodiace lišty a špeciálne upínacie prípravky pre automatizáciu FAB.
