Vysoko čisté keramické súčiastky z oxidu hlinitého pre polovodičové a priemyselné aplikácie
Spoločnosť St.Cera vyrába precízne opracované keramické diely z oxidu hlinitého (Al₂O₃) podľa špecifikácií zákazníka. Tieto komponenty, vyrobené z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého, poskytujú vynikajúcu pevnosť v ohybe (361 MPa), vysokú tvrdosť (16 GPa) a vynikajúcu dielektrickú pevnosť (15×10⁶ V/m). Materiál, určený pre polovodičové zariadenia, zostavy odolné voči opotrebovaniu, elektrické izolátory a vysokoteplotné upínacie prípravky, ponúka takmer nulovú nasiakavosť (0 %) a koeficient tepelnej rozťažnosti 7,2×10⁻⁶/℃, čo zaisťuje rozmerovú stabilitu aj v extrémnych podmienkach.
Špecifikácie(na základe 99,8 % Al₂O₃):
Nehnuteľnosť | Hodnota |
| Materiál | 99,8 % oxidu hlinitého (slonovinová šnúra) |
| Hustota | 3,93 g/cm³ |
| Pevnosť v ohybe | 361 MPa |
| Lomová húževnatosť | 3–4 MPa·m¹/² |
| Tvrdosť podľa Vickersa | 16 GPa |
| Youngov modul | 380 GPa |
| Tepelná vodivosť | 32 W/m·k |
| Tepelná rozťažnosť (25 – 1 000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Dielektrická konštanta | 9,6 |
| Uhol dielektrických strát | 0,0001 |
| Dielektrická pevnosť | 15×10⁶ V/m |
| Špecifický odpor | >10¹⁴ Ω·cm |
| Maximálna prevádzková teplota | 1600 °C |
Aplikácie:
- · Vložky, priezory a dosky na rozvod plynu pre polovodičové procesné komory
- · Puzdrá, tesniace krúžky a guľôčky odolné voči opotrebovaniu
- · Vysokonapäťové elektrické izolátory a izolátory zapaľovacích sviečok
- · Upevňovacie prvky pece, podpery ohrievačov a ochranné trubice termočlánkov
Výrobný proces:
Izostatické lisovanie → zelené obrábanie → spekanie pri 1600 °C → presné CNC brúsenie / lapovanie → ultrazvukové čistenie → 100 % rozmerová kontrola na súradnicovom meracom stroji (CMM). Bežne sa dosahujú zložité geometrie, tenké steny (≥0,5 mm) a prísne tolerancie (až do ±0,01 mm).
Kontrola kvality:
Certifikácia ISO 9001:2015. Každá šarža je testovaná na pevnosť v ohybe (3-bodový ohyb), tvrdosť (Vickers), dielektrickú pevnosť (ASTM D149) a odolnosť voči tepelným šokom (10 cyklov, 25 °C ↔ 1000 °C). Pod 20-násobným zväčšením nie sú viditeľné žiadne praskliny ani odštiepky.
Výhody oproti kovovým alebo polymérovým dielom:
- · 3–5× tvrdšia ako nehrdzavejúca oceľ (16 GPa oproti ~2 GPa)
- · Chemicky inertný – odolný voči kyselinám, zásadám a halogénom (okrem HF)
- · Elektrický izolant >10¹⁴ Ω·cm, čo umožňuje použitie vo vysokonapäťových prostrediach
- · Nepretržitá prevádzka až do 1600 °C, čo ďaleko presahuje limity kovov alebo plastov
Prispôsobenie:
Prijímame výkresy zákazníkov (formát STEP/IGS) a ponúkame rýchle prototypovanie (2–3 týždne). Súčiastky je možné dodať spekané, brúsené, lapované alebo leštené (Ra ≤0,05 μm). K dispozícii je zaoblenie hrán, zahlbenie, závitové otvory a vákuové drážky.
Poznámka: Pre aplikácie vyžadujúce vyššiu lomovú húževnatosť zvážte diely zo zirkónia (ZrO₂). Pre najvyššiu tepelnú vodivosť si pozrite naše produkty BeO alebo Si₃N₄. Všetky vyššie uvedené údaje presne zodpovedajú dodanej tabuľke vlastností Al₂O₃ (trieda 99,8 %).
