Pórovitý keramický vákuový upínač na manipuláciu s deformovanými doštičkami
Pórovité keramické upínače St.Cera sú vyrobené z vysoko čistého oxidu hlinitého s rovnomernou otvorenou pórovitosťou 30 – 45 % a veľkosťou pórov od 10 do 100 μm. Na rozdiel od konvenčných drážkovaných upínačov poskytuje pórovitý povrch rozložené vákuum po celej zadnej strane doštičky, čím účinne drží deformované, tenké alebo jednotlivé doštičky bez odlepovania alebo zlomenia hrán. Jemné vákuum (nastaviteľné pomocou obmedzovača) tiež zabraňuje zafarbeniu zadnej strany.
Špecifikácie(na základe 99,6 % Al₂O₃):
| Nehnuteľnosť | Hodnota |
| Pórovitosť | 30 – 45 % |
| Priemerná veľkosť pórov | 10–100 μm (voliteľné) |
| Pevnosť v ohybe | ≥250 MPa |
| Rovinnosť (nad 300 mm) | ≤5 μm |
| Povrchová úprava | Lapované (Ra 0,8 μm) |
| Maximálna úroveň vákua | -80 kPa |
| Prevádzková teplota | 400 °C (vzduch), 600 °C (inertný) |
| Materiál | 99,6 % Al203, Zr02 alebo SiC |
Aplikácie:
Brúsenie zadnej strany tenkých doštičiek (≤50 μm)
Deformované uchytenie doštičky na krájanie
Jednoduché vyberanie matrice z pásky
Manipulácia so sklenenými panelmi
Výroba a kvalita:
Keramický prášok zmiešaný s organickými látkami tvoriacimi póry → lisovaný → spekaný → lapovaný na konečnú hrúbku. Každý upínač sa testuje prietokom na rovnomernosť vákua (odchýlka ≤ 5 %) a kontroluje sa rozloženie veľkosti pórov (SEM). Rovinnosť sa meria laserovým interferometrom.
Výhody oproti drážkovaným skľučovadlom:
Žiadne značenie okrajov doštičky ani posun čipu
Udrží deformované doštičky (do hrúbky 500 μm)
Eliminuje upchávanie vákuového otvoru
Samonivelačná podkladová hmota pre tenké podklady
Prispôsobenie:
Okrúhle alebo obdĺžnikové tvary, veľkosť do 600 mm. Môžeme použiť tesniace krúžky na okraje alebo zónové vákuové priečky. Pre požiadavky na vysokú pevnosť sú k dispozícii verzie s kovovou podkladovou vrstvou.
Vyžiadajte si vzorku pre test veľkosti a deformácie vášho waferu.
