12-palcový vákuový upínač z oxidu hlinitého na spracovanie 300 mm doštičiek
12-palcový vákuový upínač St.Cera je presne vyrobený z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃) pre manipuláciu s 300 mm doštičkami. Upínač má jemne drážkovaný povrch (šírka drážky 0,5 – 1,0 mm, rozstup 2 – 3 mm), ktorý zabezpečuje rovnomerné rozloženie vákua po celom priemere 300 mm. Rovinnosť je udržiavaná v rozmedzí 5 μm, čo umožňuje fixáciu doštičky bez deformácie počas rezania, brúsenia zadnej strany a kontroly. Vysoká pevnosť v ohybe (361 MPa) a tvrdosť (16 GPa) materiálu zaručujú dlhodobú rozmerovú stabilitu aj pri opakovaných vákuových cykloch.
Špecifikácie (na základe 99,8 % Al₂O₃):
| Nehnuteľnosť | Hodnota |
| Priemer | 300 mm (12 palcov) |
| Materiál | 99,8 % oxidu hlinitého (slonovinová šnúra) |
| Hustota | 3,93 g/cm³ |
| Pevnosť v ohybe | 361 MPa |
| Tvrdosť podľa Vickersa | 16 GPa |
| Rovinnosť (nad 300 mm) | ≤5 μm |
| Šírka drážky | 0,5–1,0 mm |
| Maximálna prevádzková teplota | 800 °C |
| Dielektrická pevnosť | 15×10⁶ V/m |
Aplikácie:
Krájanie a ryhovanie 300 mm doštičiek
Brúsenie zadnej strany doštičky (tenká podpera doštičky)
Optická kontrola a sondáž
Skľučovadlá na dočasné spájanie/odpájanie
Výroba:
CNC brúsené a lapované do konečnej rovinnosti, drážkované diamantovými kotúčmi, ultrazvukovo čistené a balené v čistej miestnosti triedy 100. Každé skľučovadlo je 100 % skontrolované na rovinnosť (laserový interferometer) a hĺbku drážky (profilometer).
Výhody:
Nízka tvorba častíc (≤0,05 častíc/cm²)
Chemicky inertný voči rozpúšťadlám a kyselinám
Povrch odolný voči elektrostatickej elektróde (rezistivita > 10¹³ Ω·cm)
K dispozícii sú vlastné vzory vákuových otvorov a zadné porty.
