Keramický koncový efektor z karbidu kremíka (SiC) – vysoká tuhosť pre manipuláciu s doštičkami pri vysokých teplotách
Keramický koncový efektor SiC od spoločnosti St.Cera je vyrobený z vysoko čistého karbidu kremíka (obsah SiC 99,72 %, voľný Si 0,05 %) s použitím materiálu S1111. Ponúka výnimočné mechanické vlastnosti: pevnosť v ohybe 449 MPa (nameraná), modul pružnosti 457 GPa (nameraný) a tvrdosť podľa Vickersa 25 – 28 GPa (typická). Nízka hustota (3,10 – 3,15 g/cm³, typická) poskytuje vysokú špecifickú tuhosť, ideálnu pre vysokorýchlostné roboty na prenos doštičiek. S tepelnou vodivosťou 120 – 150 W/m·K (typická) a koeficientom tepelnej rozťažnosti 4,0 – 4,5 × 10⁻⁶/℃ (typická) tento koncový efektor účinne odvádza teplo a udržiava rozmerovú stabilitu počas manipulácie pri vysokých teplotách (až do 1600 – 1700 °C, bez zaťaženia). Čiernosivá farba a nulová nasiakavosť zabezpečujú kompatibilitu s čistými priestormi.
Špecifikácie(na základe dodanej testovacej správy SiC S1111 a typických hodnôt):
| Nehnuteľnosť | Hodnota |
| Materiál | SiC (99,72 % SiC, 0,05 % voľného Si) |
| Farba | Čierna/Sivá |
| Hustota | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Absorpcia vody | 0% |
| Pevnosť v ohybe | 449 MPa (priemer) |
| Lomová húževnatosť | 3,12 MPa·m¹/² (priemer) |
| Modul pružnosti | 457 GPa |
| Tvrdosť podľa Vickersa | 25 – 28 GPa |
| Tepelná vodivosť (25 °C) | 120–150 W/m·K |
| Súčiniteľ tepelnej rozťažnosti (25 – 1 000 °C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Maximálna teplota použitia (bez zaťaženia) | 1600 – 1700 °C |
Aplikácie:
● Manipulácia s doštičkami pri vysokých teplotách (po žíhaní, RTP, epitaxia)
● Plazmové leptacie komory vyžadujúce vysokú odolnosť voči erózii
● Vysokorýchlostné transportné roboty (ľahké, s vysokou tuhosťou)
Výroba:
Spekanie prášku SiC → presné CNC brúsenie profilu ramena a montážnych prvkov → lapovanie povrchov → ultrazvukové čistenie. 100% rozmerová kontrola a skúška tesnosti héliom pre vákuové aplikácie.
Kontrola kvality:
● Kontrola dĺžky, šírky a rovinnosti súradnicovým meracím prístrojom (CMM)
● Skúška pevnosti v ohybe na šaržu (podľa normy skúšobného protokolu)
● Vizuálna kontrola pod mikroskopom na povrchové defekty
Výhody oproti oxidu hlinitému alebo kovu:
● 2× vyšší modul pružnosti (457 oproti ~380 GPa pre oxid hlinitý) – menšie priehyby
● 3× vyššia tepelná vodivosť – rýchlejší odvod tepla
● Odoláva teplotám >1600 °C v porovnaní s 800 °C oxidu hlinitého na vzduchu
● Nižšia hustota ako oceľ – zníženie hmotnosti o 40 %
Prispôsobenie:
Dĺžky 150–450 mm, tvary hrotov (s úchopom hrany, Bernoulliho, plochý), montážne rozmiestnenie prírub podľa výkresu výrobcu.
*Všetky vyššie uvedené mechanické údaje pochádzajú z dodanej skúšobnej správy (šarža S1111). Tepelné hodnoty a hodnoty tvrdosti sú typické pre túto triedu SiC; pre certifikáciu špecifickú pre danú šaržu nás prosím kontaktujte.*
