Koncový efektor z oxidu hlinitého a keramiky s integrovanými vákuovými kanálmi
Vákuový koncový efektor z oxidu hlinitého od spoločnosti St.Cera integruje precízne opracované vákuové kanály a sacie otvory priamo do tela z oxidu hlinitého s vysokou čistotou 99,8 %. Táto konštrukcia eliminuje externé vákuové podložky, čo umožňuje priame odberanie doštičiek s rovnomernou prídržnou silou. Vysoká pevnosť v ohybe (361 MPa) a tvrdosť (16 GPa) materiálu zaisťujú dlhodobú rozmerovú stabilitu pri opakovaných vákuových cykloch. Rovinnosť na ploche podložky sa udržiava v rozmedzí 10 μm, čo zabraňuje namáhaniu a zlomeniu doštičiek. Vákuové porty sú umiestnené na zadnej montážnej prírube pre jednoduchú integráciu s robotickými ramenami OEM.
Špecifikácie(na základe 99,8 % Al₂O₃):
| Nehnuteľnosť | Hodnota |
| Materiál | 99,8 % oxidu hlinitého (slonovinová šnúra) |
| Hustota | 3,93 g/cm³ |
| Pevnosť v ohybe | 361 MPa |
| Tvrdosť podľa Vickersa | 16 GPa |
| Youngov modul | 380 GPa |
| Tepelná rozťažnosť | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Rovinnosť podložky | ≤10 μm |
| Šírka vákuového kanála | 0,5 – 2,0 mm |
| Maximálna prevádzková teplota | 800 °C |
Aplikácie:
● Vákuové odsávanie tenkých alebo zdeformovaných doštičiek
● Priama manipulácia s doštičkami bez uchopenia hrán
● Prenos substrátu solárnych článkov a LED diód
Výroba:
Spekaný hliníkový polotovar → 5-osové CNC vŕtanie vákuových kanálov a otvorov → lapovanie povrchu → ultrazvukové čistenie → skúška tesnosti héliom. Každý efektor je 100 % testovaný prietokom na rovnomernosť vákua.
Výhody:
● Žiadne externé vákuové podložky (redukuje zdroje častíc)
● Rovnomerný prítlak zabraňuje poškriabaniu doštičky
● Chemicky inertný a kompatibilný s čistými priestormi
