Teflónom potiahnutý keramický koncový efektor – nepriľnavý povrch pre citlivú manipuláciu s doštičkami
Keramický koncový efektor od spoločnosti St.Cera s teflónovým (PTFE) povlakom kombinuje vysoko pevný substrát z oxidu hlinitého s rovnomerným povlakom z PTFE s nízkym trením (hrúbka 15 – 30 μm). Povlak poskytuje extrémne nízky koeficient trenia (≤0,1), vynikajúcu chemickú odolnosť a nepriľnavé vlastnosti, čím zabraňuje priľnutiu doštičiek a eliminuje kontamináciu zadnej strany. Podkladový keramický substrát (99,8 % Al₂O₃) ponúka vysokú pevnosť v ohybe (361 – 1 000 MPa), odolnosť proti opotrebovaniu a tepelnú stabilitu až do 260 °C (limit povlaku). Tento koncový efektor je ideálny na manipuláciu s jemnými, tenkými alebo lepkavými doštičkami (napr. po nanesení fotorezistu alebo chemických procesoch).
Špecifikácie (na základe substrátu s obsahom 99,8 % Al₂O₃ s PTFE povlakom):
| Nehnuteľnosť | Hodnota |
| Materiál substrátu | 99,8 % oxidu hlinitého (slonovinová šnúra) |
| Náterový materiál | PTFE (teflón) |
| Hrúbka náteru | 15 – 30 μm |
| Koeficient trenia (s povrchovou úpravou) | ≤0,1 |
| Pevnosť substrátu v ohybe (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Tvrdosť substrátu (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Hustota substrátu | 3,93 g/cm³ |
| Maximálna prevádzková teplota (limit náteru) | 260 °C |
| Drsnosť povrchu (pred nanesením náteru) | Ra ≤0,4 μm |
| Elektrická pevnosť (substrát) | 15×10⁶ V/m |
Poznámka: Povlak PTFE obmedzuje maximálnu teplotu na 260 °C; pre aplikácie s vyššími teplotami zvážte nepotiahnutú keramiku alebo iné povlaky.
Aplikácie:
- · Manipulácia s doštičkami po nanesení fotorezistu (lepkavé povrchy)
- · Prenos tenkých alebo krehkých oblátok (zabraňuje zlepeniu)
- · Nástroje na kontrolu a metrológiu polovodičov
- · Automatizácia čistých priestorov, kde je potrebné minimalizovať kontamináciu časticami
Výrobný proces:
Keramický substrát spekaný a presne brúsený → zdrsnenie povrchu (plazmové leptanie alebo otryskávanie) → PTFE striekací povlak → vytvrdzovanie za tepla pri 380 °C → záverečná kontrola. Každý koncový efektor sa kontroluje na hrúbku povlaku (vírivý prúd), priľnavosť (skúška priečnym rezom ASTM D3359) a koeficient trenia.
Kontrola kvality:
100 % vizuálna kontrola na prítomnosť dier alebo bublín; rovnomernosť hrúbky povlaku v rozmedzí ±5 μm; žiadna delaminácia po skúške ohybom 90° na skúšobnom kuse. Rozmerová kontrola podľa tolerancie výrobcu (dĺžka ±0,05 mm, rovinnosť ≤0,1 mm).
Výhody oproti nepotiahnutým alebo iným náterom:
- · Nepriľnavý povrch zabraňuje priľnutiu a rozbitiu oblátok
- · Najnižší koeficient trenia medzi keramickými povlakmi
- · Vynikajúca chemická odolnosť (kyseliny, zásady, rozpúšťadlá)
- · Znižuje tvorbu častíc zabránením prenosu materiálu
Obmedzenia (poznámky k odchýlkam materiálu):
Povlak PTFE nie je odvodený z poskytnutých tabuliek vlastností materiálov (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Vlastnosti substrátu prísne zodpovedajú dodanému technickému listu (99,8 % Al₂O₃). Vlastnosti povlaku sú založené na štandardných špecifikáciách PTFE v priemysle, pretože neboli poskytnuté žiadne údaje o povlaku. Pre aplikácie presahujúce 260 °C sa odporúča nepotiahnutý keramický koncový efektor.*
Prispôsobenie:
Dostupné v dĺžkach 150–1500 mm, tvary hrotov (s úchopom hrany, Bernoulliho, plochý), vzory montážnych prírub podľa výkresu výrobcu. Čiastočný povlak (iba kontaktné plochy) alebo úplné pokrytie voliteľné.
Vyžiadajte si vzorku na skúšku adhézie a trenia.
