Vákuové skľučovadlo z oxidu hlinitého na presné krájanie a mletie
Vákuové upínače z oxidu hlinitého od spoločnosti St.Cera sú vyrobené z vysoko čistého Al₂O₃ s precízne opracovanými vákuovými drážkami. Naša schopnosť presného brúsenia dosahuje rovinnosť 0,003 mm a rovnobežnosť 0,002 mm, čo zaisťuje bezdeformačnú fixáciu doštičiek počas rezania, brúsenia zadnej strany a kontroly. Materiál ponúka vysokú pevnosť v ohybe (361 MPa), tvrdosť (16 GPa) a tepelnú stabilitu až do 800 °C. K dispozícii sú v okrúhlych formátoch s vonkajším priemerom (OD) až do 600 mm a obdĺžnikových tvaroch s dĺžkou až do 1500 mm. Vákuové drážky sú navrhnuté na mieru (sústredné, radiálne alebo mriežkové vzory) tak, aby vyhovovali špecifickým požiadavkám procesu. Každé upínače sú kontrolované laserovým interferometrom a dodáva sa so správou o overení rovinnosti.
Špecifikácie (na základe 99,8 % Al₂O₃a výrobné kapacity spoločnosti St.Cera):
| Nehnuteľnosť | Hodnota |
| Materiál | 99,8 % oxidu hlinitého (slonovinová šnúra) |
| Hustota | 3,93 g/cm³ |
| Pevnosť v ohybe | 361 MPa |
| Tvrdosť podľa Vickersa | 16 GPa |
| Vonkajší priemer (max.) | 600 mm |
| Hrúbka (max.) | 100 mm |
| Dĺžka (max.) | 1500 mm |
| Rovinnosť | 0,003 mm |
| Paralelizmus | 0,002 mm |
| Povrchová úprava | Ra0,1 |
| Maximálna prevádzková teplota | 800 °C |
Aplikácie:
- · Krájanie a ryhovanie oblátok (200 mm/300 mm a väčšie)
- · Brúsenie tenkých doštičiek zo zadnej strany
- · Optická kontrola a sondáž
- · Manipulácia s veľkými substrátmi
Presnosť výroby:
- · Priamosť: 0,005 mm
- · Kolmosť: 0,005 mm
- · Kruhovitosť: 0,002 mm
- · Sústrednosť: 0,01 mm
