Presné keramické rameno na manipuláciu s keramickými doštičkami z oxidu hlinitého, polovodičová keramika
Stručný popis:
Vďaka vlastnostiam odolnosti voči vysokej teplote, korózii, oderu a izolácii môže keramika dlhodobo pracovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.