Koncový efektor z vysoko čistého oxidu hlinitého s keramikou pre roboty na manipuláciu s doštičkami

Koncový efektor z oxidu hlinitého a keramiky od spoločnosti St.Cera je presne opracovaný z vysoko čistého Al₂O₃ s obsahom 99,8 % pomocou pokročilého 5-osového CNC brúsneho zariadenia. Naše výrobné kapacity zahŕňajú presné brúsky a CNC obrábacie centrá, ktoré umožňujú zložité geometrie s vysokou presnosťou. Koncový efektor sa vyznačuje tenkým profilom (tenkým až 1,5 mm) so zúženou nábežnou hranou pre plynulé vkladanie doštičiek. Materiál poskytuje vysokú tuhosť (Youngov modul 380 GPa), vynikajúcu odolnosť proti opotrebovaniu a tepelnú stabilitu až do 800 °C. Každá jednotka je presne brúsená, aby sa dosiahla rovinnosť 0,003 mm, rovnobežnosť 0,002 mm a povrchová úprava Ra0,1, čo zabezpečuje konzistentný kontakt s doštičkami a prevádzku bez častíc v prostrediach FAB pre polovodiče. K dispozícii v dĺžkach od 150 mm do 450 mm, s vlastnými geometriami hrotov (uchopenie hrany, Bernoulliho, ploché) a montážnymi prírubami, ktoré sa hodia k OEM robotom. Možnosti povrchovej úpravy zahŕňajú lapovanie, leštenie alebo ESD disipatívny náter (10⁶–10⁹ Ω/sq.).

Špecifikácie (na základe 99,8 % Al₂O₃a výrobné kapacity spoločnosti St.Cera):

Aplikácie:

• · Prenos doštičiek vo vákuových a atmosférických robotoch
• · Koncové efektory FAB pre automatizáciu doštičiek s rozmermi 200 mm/300 mm
• · Manipulácia s tenkými doštičkami (s možnosťou ESD)

Výrobné možnosti:
Naše presné brúsky a CNC obrábacie centrá umožňujú výrobu zložitých keramických komponentov s:

• · Maximálna dĺžka obrábania: 1500 mm
• · Maximálny vonkajší priemer: 600 mm
• · Minimálny vnútorný priemer: 0,2 mm
• · Maximálna hrúbka: 100 mm

Kontrola kvality:
Priamosť 0,005 mm, kolmosť 0,005 mm, kruhovitosť 0,002 mm, rovnobežnosť 0,002 mm, sústrednosť 0,01 mm overené pomocou súradnicového měřidla (CMM). Každá jednotka je ultrazvukovo čistená a balená do čistých priestorov triedy 100.