-
Robotické rameno z vysoko čistého oxidu hlinitého s keramikou na manipuláciu s doštičkami
Robotické rameno z oxidu hlinitého a keramiky od spoločnosti St.Cera je presne vyrobené z 99,8 % vysoko čistého Al₂O₃ (oxid hlinitý). Kombinuje výnimočnú pevnosť v ohybe (361 MPa), vysokú tvrdosť (16 GPa) a nízku hustotu (3,93 g/cm³), čo vedie k ľahkému, no zároveň pevnému ramenu na prenos polovodičových doštičiek. Koeficient tepelnej rozťažnosti materiálu (7,2 × 10⁻⁶/°C) sa presne zhoduje s kremíkom, čím sa minimalizuje tepelný nesúlad počas spracovania.
-
Keramický koncový efektor Bernoulli – bezkontaktná manipulácia s tenkými a krehkými doštičkami
Keramický koncový efektor Bernoulli od spoločnosti St.Cera využíva aerodynamický vztlak na manipuláciu s doštičkami bez fyzického kontaktu. Je vyrobený z vysoko čistého 99,8 % oxidu hlinitého (Al₂O₃) alebo karbidu kremíka (SiC) a je vybavený precízne opracovanými tryskami, ktoré vstrekujú stlačený plyn a vytvárajú tenký vzduchový film medzi koncovým efektorom a doštičkou. Tento bezkontaktný princíp eliminuje kontamináciu zadnej strany, odštiepenie hrán a poškodenie povrchu, vďaka čomu je ideálny pre tenké (≤100 μm), krehké alebo zdeformované doštičky. Keramický substrát poskytuje vysokú pevnosť v ohybe (361 MPa pre Al₂O₃; až 550 – 600 MPa pre SiC), nízku hmotnosť a vynikajúcu rozmerovú stabilitu, čo zabezpečuje opakovateľné polohovanie vo vysokorýchlostných robotoch na prenos doštičiek.
-
Teflónom potiahnutý keramický koncový efektor – nepriľnavý povrch pre citlivú manipuláciu s doštičkami
Keramický koncový efektor od spoločnosti St.Cera s teflónovým (PTFE) povlakom kombinuje vysoko pevný substrát z oxidu hlinitého s rovnomerným povlakom z PTFE s nízkym trením (hrúbka 15 – 30 μm). Povlak poskytuje extrémne nízky koeficient trenia (≤0,1), vynikajúcu chemickú odolnosť a nepriľnavé vlastnosti, čím zabraňuje priľnutiu doštičiek a eliminuje kontamináciu zadnej strany. Podkladový keramický substrát (99,8 % Al₂O₃) ponúka vysokú pevnosť v ohybe (361 – 1 000 MPa), odolnosť proti opotrebovaniu a tepelnú stabilitu až do 260 °C (limit povlaku). Tento koncový efektor je ideálny na manipuláciu s jemnými, tenkými alebo lepkavými doštičkami (napr. po nanesení fotorezistu alebo chemických procesoch).
