Robotické rameno z vysoko čistého oxidu hlinitého s keramikou na manipuláciu s doštičkami
Robotické rameno z oxidu hlinitého a keramiky od spoločnosti St.Cera je presne vyrobené z 99,8 % vysoko čistého Al₂O₃ (oxid hlinitý). Kombinuje výnimočnú pevnosť v ohybe (361 MPa), vysokú tvrdosť (16 GPa) a nízku hustotu (3,93 g/cm³), čo vedie k ľahkému, no zároveň pevnému ramenu na prenos polovodičových doštičiek. Koeficient tepelnej rozťažnosti materiálu (7,2 × 10⁻⁶/°C) sa veľmi dobre zhoduje s kremíkom, čím sa minimalizuje tepelný nesúlad počas spracovania.
Špecifikácie (na základe 99,8 % Al₂O₃):
| Nehnuteľnosť | Hodnota |
| Farba | Slonovinová |
| Hustota | 3,93 g/cm³ |
| Pevnosť v ohybe | 361 MPa |
| Tvrdosť podľa Vickersa | 16 GPa |
| Youngov modul | 380 GPa |
| Tepelná vodivosť | 32 W/m·k |
| Tepelná rozťažnosť | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Dielektrická pevnosť | 15×10⁶ V/m |
Aplikácie:
- Vákuové roboty na prenos doštičiek (200 mm/300 mm)
- Systémy na manipuláciu s atmosférou
- Ramená koncových efektorov pre automatizáciu FAB
Výrobný proces:
Izostatické lisovanie → zelené obrábanie → spekanie pri 1600 °C → presné CNC brúsenie → ultrazvukové čistenie → balenie do čistých priestorov triedy 100. Každé rameno je 100 % kontrolované súradnicovým měřiacim strojom (CMM) na rovinnosť (±0,01 mm) a drsnosť povrchu (Ra ≤0,4 μm).
Kontrola kvality:
Spoločnosť St.Cera je certifikovaná podľa normy ISO 9001:2015. Vykonávame skúšky penetrantom farbiva na mikrotrhliny, trojbodové ohybové skúšky na pevnosť v ohybe a skúšky dielektrickej pevnosti podľa normy ASTM D149.
Výhody oproti kovovým ramenám:
- o 50 % ľahší ako nehrdzavejúca oceľ
- Žiadna galvanická korózia
- Nižšia tvorba častíc (≤0,05 častíc/cm²)
- K dispozícii je povrchová úprava odolná voči elektrostatickej elektřine (10⁶–10⁹ Ω/sq)
Prispôsobenie:
Dĺžky od 150 mm do 450 mm, tvary hrotov (uchopenie hrán, Bernoulliho, vákuum) a vzory montážnych prírub podľa výkresov výrobcu. Prototypy do 2 týždňov.
Pre hromadné objednávky si prosím vyžiadajte cenovú ponuku.
