ST.CERA Prispôsobený vákuový koncový efektor z oxidu hlinitého s keramickým povrchom
Stručný popis:
Ide o keramický koncový efektor/manipulačné rameno misky, ktoré sa používa vo vákuu.
Keramický koncový efektor/manipulačné rameno je v porovnaní s kovovými „tepelne odolnejší“, „menej vychyľujúci“ a „ľahší“.
Vďaka vlastnostiam odolnosti voči vysokej teplote, korózii, oderu a izolácii môže keramika dlhodobo pracovať v mnohých druhoch zariadení na výrobu polovodičov v podmienkach vysokej teploty, vákua alebo korozívneho plynu.
Vyrobené z vysoko čistého práškového oxidu hlinitého, spracované izostatickým lisovaním za studena, spekaním za vysokej teploty a presnou konečnou úpravou, dosahuje toleranciu rozmerov ±0,001 mm, povrchovú úpravu Ra 0,1 a teplotnú odolnosť 1600 ℃.