Veľkoformátová keramická doska z oxidu hlinitého pre polovodičové a priemyselné svietidlá
Spoločnosť St.Cera vyrába veľkoformátové keramické dosky z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃) s maximálnymi rozmermi až do dĺžky 1500 mm a šírky 600 mm. Naše možnosti presného brúsenia dosahujú rovinnosť 0,003 mm na 100 mm a rovnobežnosť 0,002 mm, čo zabezpečuje konzistentnú kvalitu povrchu pre aplikácie s veľkými plochami. Hrúbka do 100 mm, povrchová úprava až do Ra0,1. Tieto dosky slúžia ako základne vákuových upínačov, vykurovacie dosky, elektrické izolačné panely a dna procesných komôr pri výrobe polovodičov, displejov a fotovoltaiky. K dispozícii sú priechodné otvory, zahlbenia a profilovanie hrán.
Špecifikácie (na základe 99,8 % Al₂O₃a výrobné kapacity spoločnosti St.Cera):
| Nehnuteľnosť | Hodnota |
| Materiál | 99,8 % oxidu hlinitého (slonovinová šnúra) |
| Hustota | 3,93 g/cm³ |
| Pevnosť v ohybe | 361 MPa |
| Tvrdosť podľa Vickersa | 16 GPa |
| Dielektrická pevnosť | 15×10⁶ V/m |
| Maximálna dĺžka | 1500 mm |
| Maximálna šírka | 600 mm |
| Maximálna hrúbka | 100 mm |
| Rovinnosť (na 100 mm) | 0,003 mm |
| Paralelizmus | 0,002 mm |
| Povrchová úprava | Ra0,1 (lapované/leštené) |
| Maximálna prevádzková teplota | 1600 °C |
Aplikácie:
- · Základné dosky s vákuovým upínaním pre veľké doštičky a panely
- · Vykurovacie dosky pre zariadenia na tepelné spracovanie
- · Elektrické izolačné panely vo vysokonapäťových systémoch
- · Podlahy a obkladové dosky procesných komôr
Presnosť výroby:
Priamosť: 0,005 mm, kolmosť: 0,005 mm, overené laserovým interferometrom.
Výhody oproti kovovým platniam:
- · Žiadna kovová kontaminácia – kritická pre polovodičové procesy
- · Nulové odplyňovanie – ideálne pre vákuové prostredie
- · Vynikajúca odolnosť voči opotrebovaniu a chemikáliám
Prispôsobenie:
K dispozícii sú vlastné vzory otvorov, profily hrán, stupňovité povrchy a metalizované montážne plochy.
