Izolačný krúžok z oxidu hlinitého PVD pre systémy fyzikálneho nanášania pár
Izolačný krúžok PVD od spoločnosti St.Cera je vyrobený z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃) na použitie v systémoch fyzikálneho nanášania z pár (PVD). Krúžok poskytuje elektrickú izoláciu medzi komponentmi komory, čím zabraňuje vzniku oblúka a zaisťuje stabilnú prevádzku plazmy. Medzi kľúčové vlastnosti patrí vysoká dielektrická pevnosť (15×10⁶ V/m), špecifický odpor >10¹⁴ Ω·mm²/m a tepelná stabilita až do 1600 °C. Naše možnosti presného obrábania dosahujú vonkajšie priemery až 600 mm, vnútorné priemery až do 0,2 mm, rovinnosť 0,003 mm a povrchovú úpravu Ra0,1. Nulová pórovitosť a chemická inertnosť krúžku zabezpečujú dlhodobú spoľahlivosť v agresívnom prostredí naprašovania.
Špecifikácie (na základe 99,8 % Al₂O₃a výrobné kapacity spoločnosti St.Cera):
| Nehnuteľnosť | Hodnota |
| Materiál | 99,8 % oxidu hlinitého (slonovinová šnúra) |
| Hustota | 3,93 g/cm³ |
| Pevnosť v ohybe | 361 MPa |
| Tvrdosť podľa Vickersa | 16 GPa |
| Dielektrická pevnosť | 15×10⁶ V/m |
| Špecifický odpor | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maximálny vonkajší priemer | 600 mm |
| Minimálny vnútorný priemer | 0,2 mm |
| Maximálna hrúbka | 100 mm |
| Rovinnosť | 0,003 mm |
| Paralelizmus | 0,002 mm |
| Povrchová úprava | Ra0,1 |
| Maximálna prevádzková teplota | 1600 °C |
Aplikácie:
- · Izolátory z podložných dosiek terčov v PVD systémoch
- · Priechodné izolátory komory
- · Tieniace krúžkové izolátory v naprašovacích systémoch
- · Izolácia vysokého napätia v plazmových komorách
Presnosť výroby:
Sústrednosť: 0,01 mm, kruhovitosť: 0,002 mm, priamosť: 0,005 mm, kolmosť: 0,005 mm, overené súradnicovým meracím strojom (CMM).
AVýhody oproti polymérovým izolátorom:
- · Odoláva teplotám 1600 °C v porovnaní s limitom <300 °C pre polymér
- · Bez odplyňovania – zachováva integritu vákua
- · Odoláva plazmovej erózii a chemickému pôsobeniu
Prispôsobenie:
K dispozícii sú vlastné prierezy, montážne prvky, stupňovité profily a viacero dizajnov sústredných krúžkov.
